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化學(xué)蝕刻單晶硅及其表面形貌研究

2011-03-22 5320 0.4M 0

樊麗梅,文九巴,趙勝利,祝要民
(河南科技大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院,河南洛陽471003)

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