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西門子法生產(chǎn)多晶硅的熱力學

2011-01-30 6740 1.02M 0
苗軍艦1 陳少純2 丘克強* ,1
(1 中南大學化學化工學院, 長沙410083)
(2 廣州有色金屬研究院, 廣州510651)
摘要: 應用有關熱力學數(shù)據(jù)研究了與西門子法相關的“Si-Cl-H”三元系的復雜化學反應, 分別繪制了在體系中存在的15 個化學
反應的!rG"
m -T 圖和K"
p -T 圖; 還給出在不同壓強和不同SiHCl3/H2 初始比例時的平衡氣相成分、η-產(chǎn)率隨溫度的變化圖以及在
不同的壓強下α因數(shù)隨SiHCl3 初始物質的量的分數(shù)的變化圖。熱力學研究結果表明, 高溫、低壓和小的SiHCl3/H2 初始物質的
量的比對SiHCl3 還原有利; α因數(shù)隨著SiHCl3 初始物質的量的比x4
0 的增大而增大。


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