KLA-Tencor Corp. (Milpitas, Calif.) 今天宣布推出太陽能電池檢測(cè)系統(tǒng)――PVI-6，對(duì)光伏硅片和電池進(jìn)行在線雙面光學(xué)檢測(cè)。

檢測(cè)工藝貫穿于整個(gè)太陽能電池量產(chǎn)過程，從空白硅片到氮化硅(SiN)涂布、金屬鍍膜和最終的分類測(cè)試，而該設(shè)備則用于其中一部分檢測(cè)。KLA-Tencor表示，PVI-6軟件提升了整體太陽能電池量產(chǎn)工藝的成品率，并支持更精確的產(chǎn)品分選。 “KLA-Tencor的ICOS部門在光伏和半導(dǎo)體后段量測(cè)和檢測(cè)領(lǐng)域處于全球領(lǐng)先地位。

PVI-6基于超過6年太陽能產(chǎn)業(yè)的經(jīng)驗(yàn)和超過25年在檢測(cè)算法和成像技術(shù)及圖像處理上的經(jīng)驗(yàn)”，KLA-Tencor集團(tuán)副總裁Jeff Donnelly表示。 KLA-Tencor說，PVI-6提供了更高的精度和可重復(fù)測(cè)量能力，達(dá)到4倍的測(cè)量精度提升，并提高了后段電池分選能力。系統(tǒng)配置了改進(jìn)的校準(zhǔn)和安裝程序，校準(zhǔn)時(shí)間減少了約80%。