1 引言

砂漿在線(xiàn)回收工藝，是將廢砂漿經(jīng)在線(xiàn)回收設(shè)備處理，將可重復(fù)使用的碳化硅顆粒和切割液回收再利用，操作方便，節(jié)約了廢砂漿儲(chǔ)存空間，且有效降低了成本。在此過(guò)程中無(wú)需添加任何化學(xué)成分，保證了砂漿的原有性質(zhì)。但由于回收的碳化硅、切割液的質(zhì)量和比例直接影響硅片切割質(zhì)量，本文主要論述在線(xiàn)回收砂漿對(duì)切割質(zhì)量的影響及調(diào)整措施。

2 在線(xiàn)回收砂漿切割質(zhì)量分析

2.1 不同回收比例的砂漿切割質(zhì)量分析

隨著砂漿回收比例的提升，砂漿的粒徑、圓度及微粉含量都會(huì)有所變化，從而影響砂漿的切割能力。



從使用在線(xiàn)回收設(shè)備，逐漸提高砂漿的回收比例，經(jīng)過(guò)不同階段的配比情況，切割質(zhì)量對(duì)比如下：



可以看出，使用第四階段回收比例的砂漿切割質(zhì)量情況相對(duì)較穩(wěn)定，各項(xiàng)指標(biāo)較理想。